特点描述
立式旋转腔设计，减少设备长度，减少占地面积； 2800mm平面阴极，大幅宽大产能设备设计； 智能化工艺(yi)程序管(guan)理，实时数据(ju)记录。
技术性能
技术参数
设备尺(chi)寸(cun)：43700mm*11480mm*5200mm（含自动(dong)化）
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