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产品与解决方案

电池片硅片自动化设备

TOPCon电池去BSG清洗设备

特点描述

高精密水膜射流泵,无极控速控流,精密控制水膜量;
精准带液滚轮,防止药水带液量不稳定;
高(gao)精(jing)密防腐电导率(lv)测试仪,自(zi)动调节酸度(du),保证腐蚀速(su)率(lv).

技术性能

  • 产能182mm≥16000 wafer/hour,182×182硅片(12道),210mm≥12500 wafer/hour,210×210硅片(10道);
  • 传动速度:1.0-5.5 m/min;
  • 操作速度:5.0m/min;
  • 碎片率<0.5‰;
  • 正常运行时间Uptime ≥98﹪.

 

技术参数

清洗流程:水膜→Acidic→Rinse→DRY

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