特点描述

设备结构：包括两个传输腔，四个蒸镀工艺腔，mask分离更换腔，真空退火腔，工艺腔及上料腔配备手套箱。
设备(bei)功能：可(ke)用于制备(bei)全干法/叠层(ceng)钙(gai)钛(tai)矿(kuang)电(dian)池，共蒸(zheng)制备(bei)钙(gai)钛(tai)矿(kuang)无机盐、钙(gai)钛(tai)矿(kuang)有机盐（FAI/MAI）、电(dian)子传输(shu)层(ceng)、钝化层(ceng)、金属电(dian)极层(ceng)等材料。