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产品与解决方案

电池片硅片自动化设备

大面积多源共蒸团簇式蒸镀机

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特点描述

团簇式布局，搭载精密对位系统，工艺灵活多变；
钙钛矿各种材料共蒸程序内置，方便客户直接调用，
旋转(zhuan)升降温(wen)控基板，有效(xiao)控温(wen)，均匀镀膜。

技术性能

基板大小：300mm*300mm*3.2mm；
基板温控：±1℃（控温精度）；
坩埚大小：40cc;
上片数目：10pcs；
保养频率：一周;
片间/片内均匀度<5%。

技术参数

设备尺寸：3000mm*5000mm*2700mm

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