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产品与解决方案

电池片硅片自动化设备

涂布干燥结晶一体设备

特点描述

涂布、干燥、结晶三个工序合而为一,统一电控控制;
壳体内气氛管控,有效控制空间内水含量,
时间(jian)节拍管控(kong),抽气曲线、温度曲线实(shi)时监控(kong)。

技术性能

  • 基板大小:500mm*500mm*3.2mm;
  • 基板温控:-5℃到5℃可调;
  • 抽气时间:10s到10Pa;
  • 碎片率: 0.1%;
  • 退火温度:~200℃。

 

技术参数

设备尺寸(cun):6500mm*4000mm*2100mm

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