10月13日，2023年“科创江苏”创新创业(ye)大赛装备(bei)制造(zao)领域总决(jue)赛在徐州举行。来自全省各(ge)地(di)的(de)高校、科研机(ji)构(gou)、高新企业(ye)的(de)29组选手现场交锋，经(jing)过激(ji)烈角逐，由晟成光伏杨星博士带来的(de)项(xiang)目——空间型原子(zi)层沉积(ji)量产(chan)工艺及装备(bei)开发，荣获装备(bei)制造(zao)创业(ye)组一等奖。

本(ben)届“科创(chuang)江苏”创(chuang)新创(chuang)业(ye)(ye)大赛(sai)以“科技自立自强，双创(chuang)驱动(dong)(dong)发展(zhan)”为(wei)(wei)主(zhu)题。大赛(sai)自创(chuang)办以来，坚持(chi)以赛(sai)促创(chuang)，持(chi)续推(tui)(tui)动(dong)(dong)大赛(sai)成(cheng)果转化应用，推(tui)(tui)动(dong)(dong)优质项目孵(fu)化落(luo)地，实现项目与地方(fang)产业(ye)(ye)的协同对接，逐(zhu)步打造成(cheng)为(wei)(wei)选(xuan)拔、培训、推(tui)(tui)介、落(luo)地、培育(yu)的全链条双创(chuang)服(fu)务平台(tai)，为(wei)(wei)我(wo)省经济社会(hui)高质量发展(zhan)注入新动(dong)(dong)能(neng)。

晟成光伏(fu)(fu)空(kong)间(jian)型(xing)原子(zi)层沉积(ji)量产工(gong)艺及装(zhuang)备(bei)开(kai)发项目基于空(kong)间(jian)式SALD的(de)技术(shu)，研(yan)究适合(he)于钙钛矿(kuang)电池(chi)电子(zi)传(chuan)输层SnO2膜层以(yi)及封装(zhuang)阻水层Al2O3膜层的(de)原子(zi)层沉积(ji)技术(shu)，结合(he)晟成光伏(fu)(fu)的(de)钙钛矿(kuang)电池(chi)中试(shi)线的(de)验证测试(shi)，优势资源整合(he)，基础研(yan)究与产业化(hua)应用研(yan)究优势互补，开(kai)发了大(da)产能大(da)幅宽空(kong)间(jian)原子(zi)沉积(ji)薄膜的(de)量产设备(bei)及工(gong)艺。

原子(zi)层(ceng)沉积(ji)(ji)技(ji)术在(zai)(zai)光(guang)(guang)伏(fu)(fu)、半导体领(ling)域均有着广阔的(de)(de)应用前(qian)景(jing)与良好(hao)的(de)(de)经济效益。当(dang)前(qian)，ALD设备(bei)国产化市(shi)场占有量(liang)仅为2%，在(zai)(zai)这(zhei)一背(bei)景(jing)下，晟成(cheng)光(guang)(guang)伏(fu)(fu)积(ji)(ji)极(ji)响应国家创新(xin)(xin)(xin)发(fa)展(zhan)战(zhan)略，致(zhi)力(li)于(yu)提高国内ALD设备(bei)的(de)(de)研发(fa)水平和生产能力(li)，以满足(zu)不断增长的(de)(de)市(shi)场需求。未来，晟成(cheng)光(guang)(guang)伏(fu)(fu)将在(zai)(zai)技(ji)术创新(xin)(xin)(xin)的(de)(de)道路上继续努力(li)前(qian)行(xing)，为更清洁、可持续的(de)(de)能源转型贡献更多创新(xin)(xin)(xin)和力(li)量(liang)。